| ชื่อบทความที่เผยแพร่ |
Optimization of carbon uniformity for diamond-like carbon coating |
| วัน/เดือน/ปี ที่เผยแพร่ |
22 มกราคม 2560 |
| การประชุม |
| ชื่อการประชุม |
ICASE2017 |
| หน่วยงาน/องค์กรที่จัดประชุม |
Department of Material Science, Chulalongkorn University |
| สถานที่จัดประชุม |
Regent's International College |
| จังหวัด/รัฐ |
Bangkok |
| ช่วงวันที่จัดประชุม |
19 มกราคม 2560 |
| ถึง |
22 มกราคม 2560 |
| Proceeding Paper |
| Volume (ปีที่) |
1 |
| Issue (เล่มที่) |
1 |
| หน้าที่พิมพ์ |
15 |
| Editors/edition/publisher |
United Agencies, Mangalore - 575 002 |
| บทคัดย่อ |
Diamond-like carbon (DLC) coating is a method to improve quality of materials in mechanical and electrical property. Nowadays, Diamond-like carbon coating technique is famous in semiconductor and automotive. Now many scientist and researcher try to improve coating uniformity performance for developing to support new product in semiconductor industry. This project demonstrates the improvement of DLC uniformity with pulse filtered cathodic arc (PFCA) machine. DOE was used for parameter optimization that give the carbon non-uniformity and analysis data by one-way ANOVA for determining critical parameters that concerned with carbon uniformity. DCTA and fixture rotation velocity were two parameters for DLC uniformity optimization. The result showed that that carbon uniformity was strongly related to DCTA setting, especially at +5 degree giving the best carbon uniformity. |
| ผู้เขียน |
|
| การประเมินบทความ (Peer Review) |
มีผู้ประเมินอิสระ |
| มีการเผยแพร่ในระดับ |
นานาชาติ |
| รูปแบบ Proceeding |
Abstract |
| รูปแบบการนำเสนอ |
Oral |
| เป็นส่วนหนึ่งของวิทยานิพนธ์ |
เป็น |
| ผลงานที่นำเสนอได้รับรางวัล |
ไม่ได้รับรางวัล |
| แนบไฟล์ |
|
| Citation |
0
|
|
|
ข้อมูลการเผยแพร่ผลงาน
การเผยแพร่ในรูปของบทความวารสารทางวิชาการ
English